氣體流量控制器
測量管道內質(zhì)量流量的流量測量?jì)x表。在被測流體處于壓力、溫度等參數變化很大的條件下,若僅測量體積流量,則會(huì )因為流體密度的變化帶來(lái)很大的測量誤差。在容積式和差壓式流量計中,被測流體的密度可能變化30%,這會(huì )使流量產(chǎn)生30~40%的誤差。隨著(zhù)自動(dòng)化水平的提高,許多生產(chǎn)過(guò)程都對流量測量提出了新的要求?;瘜W(xué)反應過(guò)程是受原料的質(zhì)量(而不是體積)控制的。蒸氣、空氣流的加熱、冷卻效應也是與質(zhì)量流量成比例的。
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渦輪流量計
當流體流經(jīng)渦輪流量傳感器時(shí),在流體推力作用下渦輪受力旋轉,其轉速與管道平均流速成正比,渦輪轉動(dòng)周期地改變磁電轉換器的磁阻值,檢測線(xiàn)圈中的磁通隨之發(fā)生周期性變化,產(chǎn)生周期性的電脈沖信號。在一定的流量(雷諾數)范圍內,該電脈沖信號與流經(jīng)渦輪流量傳感器處流體的體積流量成正比。
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氣體流量控制器的選擇
例,真空等離子清洗機的流量控制器選擇
工藝氣體流量的穩定性,會(huì )影響工業(yè)型真空等離子清洗機的處理效果,大多數工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格,所以工業(yè)型真空等離子清洗機都是選用質(zhì)量流量控制器來(lái)實(shí)現對工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機實(shí)際使用過(guò)程中,不同的工藝要求,需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器,真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間,部分大型真空等離子清洗機也會(huì )用到0~1SLM規格的質(zhì)量流量控制器。
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